Profilometr optyczny Wyko NT9300 firmy Veeco

Dane techniczne
  • Tryby pracy VSI (Vertical Scanning Interferometry) - maksymalna wysokość skanowania wynosi 700 mm. Wykorzystuje szeroki zakres widmowy światła. Rozdzielczość pomiarowa w osi z wynosi 3 nm.
  • Tryp pracy PSI (Phase Shifting Interferometer) - do powierzchni o chropowatości mniejszej niż 50 nm. Maksymalna wysokość skanowani ograniczona do 1/4 długości wykorzystywanego światła (około 135 nm w przypadku stosowania filtra 535 nm). Rozdzielczość pomiarowa w osi z wynosi 3 Å.
  • Konwertery FOV: 0,55x, 1x, 2,0x.
  • Obiektyw: 5x (odległość robocza 6,7 mm).
  • Obiektyw 20x (odległość robocza 4,7 mm).
  • Obiektyw 50x (odległość robocza 3,4 mm).
  • Rozdzielczość od 2.33 do 0,49 mm3
  • Automatyczny stolik o zakresie przesuwu 200 x 200 mm w płaszczyźnie X-Y.
  • Możliwość obrazowanie większej powierzchni dzięki opcji automatycznego składania pojedynczych pomiarów.
  • Wyniki pomiarów mogą zostać zapisane w formie plików PDF, BMP, TIFF oraz ASCII. Możliwy jest także eksport danych do programu Matlab.
Wyposażenie Aplikacja Film Analysis (dla warstw o grubości między 100nm a 2µm).
Osoba do kontaktu dr inż. Maciej Spychalski, dr hab. inż. Krzysztof Rożniatowski, prof. PW
Zakład Zakład Projektowania Materiałów
Laboratorium Laboratorium Badań Struktury i Właściwości Powierzchni
Lokalizacja na Wydziale ul. Wołoska 141, pok. 311/1