Stanowisko do obróbek PVD metodą rozpylania magnetronowego

Dane techniczne
  • Napięcie wyjściowe: do 600V DC
  • Prąd wyjściowy: do 6A DC (max 10A)
  • Zasilanie: 3x200/380V ±10%, 50 Hz
  • Próżnia max: 5·10-6 mbar
Wyposażenie
  • Komora próżniowa wraz z zestawem pomp próżniowych
  • Blok sterowania BS 100
  • Układ dozowania gazów
  • ITE Zasilacz magnetronu
Osoba do kontaktu Michał Tarnowski
Zakład Zakład Inżynierii Powierzchni
Lokalizacja na Wydziale Budynek NT p.027