Helowy detektor nieszczelności ADIXEN ASM 310

Dane techniczne
  • Zakres pomiaru:
    • Tryb Gross leak 8 ·10-8 do 1 · 10-2 Pa m3/s
    • Tryb Normal 1 ·10-11 do 3 · 10-5 Pa m3/s
    • Tryb High Sensitivity 1 ·10-12 do 2 · 10-5 Pa m3/s
  • Ciśnienie progowe:
    • Tryb Gross leak 1500 Pa
    • Tryb Normal 50 Pa
    • Tryb High Sensitivity 4 Pa
  • Prędkość pompowania pompy turbomolekularnej 30 l/s
  • Max. ciśnienie na wylocie pompy turbomolekularnej 45 mbar
  • Prędkość pompowania dla helu 20 l/s
  • Analizator: 2 katody irydowe
Wyposażenie
  • Butla z helem
Osoba do kontaktu Rafał Chodun
Zakład Zakład Inżynierii Powierzchni
Lokalizacja na Wydziale Budynek NT p. 02