Dwuwiązkowy mikroskop jonowy Hitachi NB5000

Dane techniczne
  • SEM rozdzielczość: 1nm przy napięciu 15kV
  • FIB rozdzielczość: 5nm przy napięciu 40kV
  • Mody
  • Lower Secondary electrons detector (SE)
  • Upper Secondary electrons detector (SE)
  • Detector of transmitted electrons (STEM)
  • Energy dispersive spectrometer (EDS)
  • Możliwość napylania W i C
  • System przenoszenia małych próbek
  • Funkcja wycinania i obrazowania do rekonstrukcji 3D;
  • możliwe rekonstrukcje 3D z rozdzielczością nanometryczną
  • Jednoczesna obserwacja w trybie SEM podczas cięcia FIB
Osoba do kontaktu dr inż. Tomasz Płociński
Zakład Zakład Projektowania Materiałów
Lokalizacja na Wydziale ul. Narbutta 85 p. 12