Wielkogabarytowe stanowisko próżniowe do wytwarzania warstw met. magnetronowymi

Dane techniczne
  • Realizacja procesów dc i ac MS, PMS, parowania łukowego
  • Realizacja procesów podłoży wieloseryjnych oraz wielkogabarytowych
  • Objętość komory próżniowej 3 m3
  • System chłodzenia
  • Wymienne flansze
Wyposażenie
  • Pompa dyfuzyjna 6000 l/s
  • Magnetrony liniowe 70 cm
  • Zasilacz mocy 60 kW
  • Kontroler gazów MKS
  • Obrotnica satelitarna, izolowana elektrycznie
  • System polaryzacji podłoży
Osoba do kontaktu dr inż. Rafał Chodun
Zakład Zakład Inżynierii Powierzchni
Lokalizacja na Wydziale Budynek NT p. 02