Stanowisko próżniowe do wytwarzania warstw met. magnetronowymi II

Dane techniczne	Realizacja procesów GIMS, HiPIMS Objętość komory próżniowej 55 l System chłodzenia Wymienne flansze Przyłącza ISO KF 16, 25, 40, 100
Wyposażenie	Pompa turbomolekularna 2000 l/s Magnetrony liniowe oraz kołowe φ 50 i 100 mm Zasilacz mocy 30 kW Generator impulsów wysokiej mocy Systemy sterowania impulsami mocy oraz gazu System polaryzacji podłoży
Osoba do kontaktu	dr inż. Rafał Chodun
Zakład	Zakład Inżynierii Powierzchni
Lokalizacja na Wydziale	Budynek NT p. 02