Stanowisko próżniowe do wytwarzania warstw met. magnetronowymi I

Dane techniczne
  • Realizacja procesów dc i ac MS, PMS, GIMS
  • Objętość komory próżniowej 55 l
  • System chłodzenia
  • Wymienne flansze
  • Przyłącza ISO KF 16, 25, 40, 100
Wyposażenie
  • Pompa turbomolekularna 1600 l/s
  • Magnetrony kołowe φ 50 i 100 mm
  • Zasilacze mocy 10 kW
  • Systemy sterowania impulsami mocy oraz gazu
  • Obrotnica satelitarna, izolowana elektrycznie
  • System ogrzewania podłoży
  • System polaryzacji podłoży
Osoba do kontaktu dr inż. Rafał Chodun
Zakład Zakład Inżynierii Powierzchni
Lokalizacja na Wydziale Budynek NT p. 02