| Dane techniczne
|
- Realizacja procesów dc i ac MS, PMS, parowania łukowego
- Realizacja procesów podłoży wieloseryjnych oraz wielkogabarytowych
- Objętość komory próżniowej 3 m3
- System chłodzenia
- Wymienne flansze
|
| Wyposażenie
|
- Pompa dyfuzyjna 6000 l/s
- Magnetrony liniowe 70 cm
- Zasilacz mocy 60 kW
- Kontroler gazów MKS
- Obrotnica satelitarna, izolowana elektrycznie
- System polaryzacji podłoży
|
| Osoba do kontaktu
|
dr inż. Rafał Chodun
|
| Zakład
|
Zakład Inżynierii Powierzchni
|
| Lokalizacja na Wydziale
|
Budynek NT p. 02
|