Stanowisko próżniowe do wytwarzania warstw met. magnetronowymi I

Dane techniczne	Realizacja procesów dc i ac MS, PMS, GIMS Objętość komory próżniowej 55 l System chłodzenia Wymienne flansze Przyłącza ISO KF 16, 25, 40, 100
Wyposażenie	Pompa turbomolekularna 1600 l/s Magnetrony kołowe φ 50 i 100 mm Zasilacze mocy 10 kW Systemy sterowania impulsami mocy oraz gazu Obrotnica satelitarna, izolowana elektrycznie System ogrzewania podłoży System polaryzacji podłoży
Osoba do kontaktu	dr inż. Rafał Chodun
Zakład	Zakład Inżynierii Powierzchni
Lokalizacja na Wydziale	Budynek NT p. 02