| Dane techniczne
|
- Wymiary komory: średnica – 390 mm wysokość 500 mm
- Zasilacz stałoprądowy/impulsowy max 20 A
|
| Wyposażenie
|
- Pompa próżniowa Pfeiffer DUO 65 (70m3/h)
- Układ dozowania gazów
- Układ pomiaru temperatury Czaki Thermo-product EMT-100-K (-100 - +1200°C)
|
| Osoba do kontaktu
|
Michał Tarnowski
|
| Zakład
|
Zakład Inżynierii Powierzchni
|
| Lokalizacja na Wydziale
|
Budynek NT p. 027
|