| Dane techniczne
|
- Napięcie wyjściowe: do 600V DC
- Prąd wyjściowy: do 6A DC (max 10A)
- Zasilanie: 3x200/380V ±10%, 50 Hz
- Próżnia max: 5·10-6 mbar
|
| Wyposażenie
|
- Komora próżniowa wraz z zestawem pomp próżniowych
- Blok sterowania BS 100
- Układ dozowania gazów
- ITE Zasilacz magnetronu
|
| Osoba do kontaktu
|
Michał Tarnowski
|
| Zakład
|
Zakład Inżynierii Powierzchni
|
| Lokalizacja na Wydziale
|
Budynek NT p.027
|